特点

．可高度净化有毒气体及维修简便。

．内置之高效能化学吸附材，可净化厂区内制程所产生的有毒气体。

．正常运行时间可达到99.95％（MTBF>20000hr,MTTR<2.5hr)

优点

．室温下即可操作，不需额外升温

．维修简便，不需停机即可进行更换耗材动作

．使用触控屏幕，操控简易

．副产物为无毒性固态盐类，可直接排放

硬件需求

．Gas Inlet:DN40 KF flange

．Gas Outlet:DN40 KF flange

．Main Power:208V/60Hz 3￡r15amps

．N2:Swagelok 1/4" 85-115psi

．CDA:N/A

．Cabinet Exhaust:预留100mm X 70mm的长度给bellows tubing；

  使用butterfly throttle valve以便对应客戶端所提议的气体流量；

 20 X cabinet volume per hour

特殊设计

．PLC整合气体侦测器，扩充能力强大

．PLC与触控面板介面设计，故障率低且维修容易

．基于安全考量，内含Bypass管路以符合工安需求

．可处理不同流量的多样气体

．基于安全考量，内含Bypass管路以符合工安需求

．可处理不同流量的多样气体