Nitsu是被设计来处理废气的燃烧式废气处理系统，特别是那些用在IC,TFT LCD和光伏产业中thin film及dry etching 制程各种尾气, 尤其针对化学气相沉积制备的SiH4, NF3和H2的大流量的废气。

创新的旋流燃烧器, 反应腔和排气管的优秀比例量达到巨大的处理量，优良的减排性能，低排气温度和长期稳定性。

创新的双阶段防回火装置提供气体燃烧器系统的主动保护。

轻松切换CH4或C3H8和自动空气/燃料比调节减少人工调整的风险。

智能人机界面和自动粉末清洁功能提供简单操作，更长的维护周期，更短的维修时间，更长的部件寿命和更低的维护成本。

NITSU优势

高安全性

SEMI 系統安全认证:  S2-0706:2006, SEMI S8-0307 certified by TUV.

控制回路认证: EN 60204-1 certified by TUV.

安全回路认证: EN954-1硬件连锁双安全回路,具失效安全,容错，自我检查功能

                        certified by TUV.

先进燃烧管理系统: According to NFPA 86.

真空管道回火保护系統: Pumping line flash back protection system.

真空管道侧漏裝置: Pumping line leakage detect system.

全自动系统运行建立与历史记录:  1-year huge capacity history record.

节能高效

现金稳定机构系統: DRE99%以上, Reliability99%以上, MTBF20000hr Guaranty!

处理量大可选择机台互相backup function: 全年免停机

多段式自动节能控制: 双瓦斯燃料,依CVD状态自动调整瓦斯及空燃比,节能50%以上

高效率冷却系统设计: 高效冷却, 可减少常务耗能30%以上

燃烧式自动清洁装置: 标准配备Auto scraper, 燃烧式自动清洁、保养周期长3~16月

先进人机工程设计: 操作简单,,保养容易快速, 每次约~30 minutes

低成本

低建置成本:  简化厂务周边配套工事，省钱省空间.

低运行成本: 集中处理尾气排气系统，,低成本高效能,现场不用水,维护保养简单,设备更换耗材零件少，节省运行成本