Hot N2 通过直接管路高温分布，以达到管路內部高温环境，适用于PECVD 、Dry Etch 、 LPCVD 等会产生Powder 的制程设备

在现场处理Pipe or Scrubber Inlet 阻塞的问题方向，Hot N2 是最经济且效果最佳的解決方式