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燃烧式Scrubber气体进入机台Inlet Buffer之后温度不足，导致废气结晶管路阻塞；且因Powder阻塞，导致气动阀异常而损坏，无法正常切换，如何改善？

对策：在机台Inlet Buffer处加装Hot N2，使Pump至Scrubber管路保持一定温度，使气体顺利进入Chamber燃烧处理，增长PM周期。